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一、CIF手套箱專用等離子清洗機
CIF推出VGB-P系列手套箱專用等離子清洗設備,優(yōu)化的腔體結構及合理的結構設計更適合手套箱內使用。安裝簡單方便,性能穩(wěn)定,實用性強,容易維護。
二、產品特點
u 7寸彩色觸摸屏互動操作界面,圖形化用戶操作界面顯示,自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20個配方程序,可存儲、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù),機器運行、停止提示。
u PLC工控機控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。
u 真空倉體,全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質,耐腐蝕無污染。
u 自動匹配器,功率無極可調。
u 采用美國德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計,雙路氣體控制氣體流量,可輸入氧氣、氬氣、氮氣、氫氣或混合氣等氣體,氣體分配均勻,經(jīng)濟實用。
u HEPA高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。
u 弧形等離子激發(fā)板,等離子激發(fā)能力更強。
u 分體式設計,便于手套箱內使用。
u 安全保護,倉門打開,自動關閉電源。
三、技術參數(shù)
| 型號 | VGB3 | VGB3Plus | 
| 艙體尺寸 | D178xΦ150mm | D178xΦ150mm | 
| 艙體容積 | 3L | 3L | 
| 射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz | 
| 匹配器 | 自動匹配 | 自動匹配 | 
| 激發(fā)方式 | 電容式 | 電容式 | 
| 射頻功率 | 10-300W可調 | 10-150W可調 | 
| 氣體控制 | 雙浮子流量計(標配) | |
| 有效處理尺寸 | L200xW155mm | |
| 時間設定 | 1-99分59秒 | |
| 真空泵 | 抽速4-8m3/h | |
| 氣體穩(wěn)定時間 | 1分鐘 | |
| 真空度 | 100pa以內 | |
| 電源 | AC220V 50-60Hz | |
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